第103节（2 / 3）

建模。

组装、封装，启动激光器，紫色激光发射，击中模拟锡液滴，高强度等离子体发出euv光源被收集镜捕获汇聚形成?光源，光源集中、传递至光刻系统，经光刻系统一系列步骤曝光晶片。

euv光源系统现?实工作，激光发射击中锡液滴这一过程是每秒五万次，而在仿真建模中，为方便观察，数据比例修改后变成?肉眼可观测。

仿真建模观测一小时后，放大雕刻后的晶片，宛如一个个充满未来?感的城市。

杜颂吞咽口水，紧张问：“怎么样？”

雷客屏住呼吸：“仿真实验结果和当?初预料结果一致，如无意外?，方案可行。”

身后传来?一阵激动的欢呼声，不过很快压下来?，众人纷纷看向没开口的盛明安，他才是实验室的主?心骨，他点头了?才算实验成?功！

但不可避免的，他们此?刻的心脏仿佛被吊到嗓子眼，紧张得几乎不能呼吸。

无他，因为眼前的仿真建模是他们耗费三年、将近四年的成?果！

无数日?夜的数据优化?、改进，从光源系统到光刻系统，从激光器到复杂的双工作台，从反射镜到晶圆等部件材料，海量的数据和磅礴的公式计算，一千多个日?夜的心血全数系在这一刻！

盛明安盯着右手边的光屏，那是光源优化?仿真实验结果，结果表明优化?后的光源图形和收敛曲线与预料一致，说明——

“方案可行。”

星晓[13] 红头文件。

方案可行意味着?他们研发高阶光刻机的方向是对的！

不?仅仅是解决了复杂的光源系统,更意味着?他们可以组装出?完整的高阶光刻机系统，包括仿真建模里?，模拟出?来的双工作台、反射镜等?数据都可以应用！

但现?在?不?是高兴的时候,仿真建模只是高阶光刻机制造的第一步,接下?来的设备组装、研制才是关键。

光有设计图纸,没有适合的材料、顶级工匠和研发设备那也是白搭。

雷客：“光源系统设备的研制需要专业顶级的工程师，蓝河科技恐怕人手不?足。后期组装也需要其他实验室的研究进度跟得上。”

闻言，杜颂的笑容僵住：“还有资金和材料,光源系统设备材料不?能用普通钢板，还有精度严格的反射镜怎么办？”

这些问题一早就想到，那时盛明安让他们专心?攻克光源系统，以至于直到现?在?用到了才开始发愁。

林成建等?人不?由担忧，研发资金捉襟见肘，新材料倒是可以找华电科，就是不?知道那些新材料是否符合标准。

就算新材料符合标准,精度至皮米的反射镜目前国内没人造得出?来。

盛明安：“陈惊璆会解决这些问题。”

科研人员只需负责研发工作就行。

“好了，忙去吧。”盛明安挥挥手，赶走身后一群人。

研发人员现?在?很兴奋,根本?赶不?走，围过来说：“盛工,我再看一眼——这么复杂的光源系统真是我设计出?来的？！”、“我觉得自己真t是个天才！”、“脸还在?吗？”

……

众人叽叽喳喳凑到光屏前陶醉于光源系统的仿真建模,盛明安则悄悄退出?,离开实验室,回到蓝河科技特意拨给他的办公室。

十?几分钟过后，办公室的门?突然被撞开，陈惊璆喘着?气跑进来，旋风似的冲到他桌前,两只手撑在?红木桌，俯视盛明安，深呼吸：“建模能用？”

盛明安抬眼，点头。

陈惊璆笑了，移开目光，下?一刻又移回来看盛明安：“恭喜。”

盛明安：“同喜？”

陈惊璆轻声：“我很高兴。”

盛明安：“别高兴太早，接下?来是光刻机设备研发阶段，新材料找华电科购买，至于高精度反射镜，我建议找春城光机所。”

春城光学精密机械所有一个项目就是研发高精度大口径碳化?硅反射镜，以他们的技术，应该能制造出?光刻机所需的光学反射镜。

“材料和设备可以找到提供途径，专业工程师不?太容易找。陈惊璆你自己想办法解决——唔？”

陈惊璆忽然伸手捏住了他的下?巴，盛明安止住话头，疑惑的看过去。

“陈惊璆，你不?高兴了？”

“没有。”陈惊璆小小用力捏了捏盛明安的下?巴，咬牙说：“只是突然想罢工。”

“那……”盛明安迟疑着?说：“我办公室借你躲一会儿？超过两小时没工作，林工会到处找你了。”

对盛明安下?意识的维护和亲近，陈惊璆心?里?酸喜交加，忍不?住猜测盛明安是不?是其实知道他的心?思，因为他那么聪明，他是个天才，没理由发现?不?了。

所以那些撩人的话语、亲近的纵容的维护，都源于爱意。

可另一方面又看得清楚，盛明安没有那方面的任何意思，